DIN 50451-1-2003 半导体工艺材料检验.液体中痕量元素测定.用原子吸收光谱测定法测定硝酸溶剂中银、金、钙、铜、铁、钾和钠的含量

作者:标准资料网时间:2024-05-16 21:22:50 浏览:9556 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationoftraceelementsinliquids-Part1:Silver(Ag),gold(Au),calcium(Ca),copper(Cu),iron(Fe),potassium(K)andsodium(Na)innitricacidbyAAS
【原文标准名称】:半导体工艺材料检验.液体中痕量元素测定.用原子吸收光谱测定法测定硝酸溶剂中银、金、钙、铜、铁、钾和钠的含量
【标准号】:DIN50451-1-2003
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2003-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:半导体工程;钙;银;金属;半导体;定义;微量元素分析;材料;原子吸收光谱测定法;试验;材料试验;含量测定;金;钾;检定;铁;贵金属;硝酸;钠;重金属;高纯度;分析;原子吸收分光光度测定法;半导体工艺;铜;微量元素;纯净水;化学
【英文主题词】:
【摘要】:Thedocumentspecifiesamethodfortestingnitricacidfortherelevantmetaltracesofsilver,gold,copper,iron,potassiumandsodiumintracequantities,forwhichthemethodofatomicabsorptionspectroscopy(AAS)withelectrothermicatomizingisused.Therangeofapplicationcoverstraceelementmassfractionsfrom0,1ng/gto50ng/g.
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:8P;A4
【正文语种】:德语

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